Апи М. / Ali, M.
Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва / RUS Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва
Балашов А. А. / Balaschov, A.A.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва / RUS Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва
Вагин В. А. / Vaguine, V.A.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва / RUS Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва
Качурин Ю.Ю. / Kachurin, Yu.Yu.
Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва / RUS Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва
Кирьянов А. П. / Kiryanov, A.P.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва / RUS Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва
Шапкарин И. П. / Schapkarin, I.P.
Московский государственный университет дизайна и технологий, Москва / RUS Московский государственный университет дизайна и технологий, Москва
Выпуск в базе РИНЦ
Апи М., Балашов А. А., Вагин В. А., Качурин Ю.Ю., Кирьянов А. П., Шапкарин И. П. Лазерные интерференционные холоэллипсометры для мониторинга двумерных одноосных кристаллов // Физические основы приборостроения. 2012. Т. 1. № 4(5). С. 86–97. DOI: 10.25210/jfop-1204-086097
Ali, M., Balaschov, A.A., Vaguine, V.A., Kachurin, Yu.Yu., Kiryanov, A.P., Schapkarin, I.P. Laser Interference Holoellipsometers for the Monitoring of Two-Dimension Uniaxial Crystals // Physical Bases of Instrumentation. 2012. Vol. 1. No. 4(5). P. 86–97. DOI: 10.25210/jfop-1204-086097
Аннотация: Представлены лазерные интерференционные асимметричные холоэллипсометры с нормальным и наклонным отражением света как основы мониторинга двумерных одноосных кристаллов. По устройству это интерферометры Майкельсона с фазовой и бинарной модуляциями света, позволяющие in situ измерить параметры отраженных двумерным одноосным кристаллом пучков линейно поляризованного света при пороге обнаружения разности фаз 5 1011 рад. Высокое значение порога чувствительности возможно из-за высокой когерентности света, контроля его интенсивности на входе, неизменности азимутов поляризационных элементов и выигрышу Фельжетта.
Abstract: Here are presented the laser interference asymmetric holoellipsometers with a normal and inclined light’s reflection as a basis of the monitoring of two-dimension uniaxial crystals. These devices are the Michelson interferometer with phase and binary light’s modulation which permits to find in situ a set of parameters of the reflected beams with linear polarization from a two-dimension uniaxial crystal and to have 5 10″ rad for a detectable threshold by means of the light’s coherence, control of its input intensity, azimuth’s constancy of polarization devices and Felgette factor.
Ключевые слова: интерферометрия, порог обнаружения, ellipsometry, interferometry, интерферометрия