Спектрохолоэллипсометр рассеяния и отражения света оптически одноосным двумерным кристаллом / Spectroholoellipsometer with Light Scattering and Reflecting From the Optically Uniaxial Two-Dimension Crystal

Али М. / Ali, M.
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Москва / RUS Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Москва
Кирьянов А. П. / Kiryanov, A. P.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва / RUS Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва
Ковалёв В. И. / Kovalev, V. I.
Фрязинский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН, Москва / RUS Фрязинский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН, Москва
Пустовойт В. И. / Pustovoit, V. I.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва / RUS Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва
Выпуск в базе РИНЦ
Али М., Кирьянов А. П., Ковалёв В. И., Пустовойт В. И. Спектрохолоэллипсометр рассеяния и отражения света оптически одноосным двумерным кристаллом // Физические основы приборостроения. 2013. Т. 2. № 4(9). С. 95–107. DOI: 10.25210/jfop-1304-095107
Ali, M., Kiryanov, A. P., Kovalev, V. I., Pustovoit, V. I. Spectroholoellipsometer with Light Scattering and Reflecting From the Optically Uniaxial Two-Dimension Crystal // Physical Bases of Instrumentation. 2013. Vol. 2. No. 4(9). P. 95–107. DOI: 10.25210/jfop-1304-095107

Аннотация: Представлен акустооптический спектрохолоэллипсометр нормального и наклонного рассеяния и отражения света одноосным двумерным кристаллом как перспективное и эффективное средство диагностики поверхностей.
Abstract: The acoustic and optical spectroholoellipsometer with the normal and inclined light scattering and reflection by means of the uniaxial bi-dimensional crystal is presented as perspective and effective device for the surface diagnostics.
Ключевые слова: рассеяние и отражение света, двумерный кристалл, диагностика поверхностей, acoustic and optical spectroholoellipsometer, light`s scattering and reflection, bi-dimensional crystal, рассеяние и отражение света

Литература / References
  1. Конотопов М. В., Тебекин А. В. Концепция стратегии развития производственных технологий //Инновации и инвестиции. 2007. №1(9). С.2-15.
  2. Langereis, E., Heil, S.B.S., Knoops, H.C.M., Keuning, W., Van de Sandem, M. C.M., and Kessels, W. M.M. In Situ Spectroscopic Ellipsometry as a Versatile Tool for Studying Atomic Layer Deposition // J. Phys. D: Appl. Phys. 2009. Vol. 42. No. 07. P. 3001.
  3. Кирьянов А. П. Голоэллипсометрия in Situ: основы и применения / М.: МГУДТ, 2003. 220 с.
  4. Фабелинский И. Л. Молекулярное рассеяние света/ М.: Наука, 1965. 511 с.
  5. Elson, J.M. Multilayer-Coated Optics: Guided-Wave Coupling and Scattering by Means of Interface Random Roughness // J.Opt. Soc. Am. 1995. A12. P. 729-742.
  6. Germer, T. A., Fasolka, M. J. Chacacterizing Surface Roughness of Thin Films by Polarized Light Scattering // Proc. SPIE. 2003. 5188. P. 264-275.
  7. Пустовойт В.И., Пожар В.Э. Акустооптические спектральные устройства: состояние и перспективы // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Серия «Приборостроение». Специальный выпуск «Современные проблемы оптотехники». 2011. С. 6-15.
  8. Kovalev, V. I., Rukovishnikov, A. I., Rossukanyi, N. M., and Perov, P. I. New High Precision and High Speed Automatic Ellipsometer with Polarization Switching for in Situ Control in Semiconductor Device Technologies. Physics of Semiconductor Devices (New Delhi: Tata McGraw-Hill). 1991. P. 244-249.
  9. Борн М., Вольф Э. Основы оптики / М.: Наука, 1980. 856 с.
  10. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет / М.: Мир, 1981. 583 с.
  11. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Электродинамика сплошных сред / М.: Наука, 1980. 664 с.