Архив рубрики: ФОП.16.01

Методы мониторинга и управления радиочастотной плазмы в современных технологических процессах / Methods of Monitoring and Control of RF Plasma in Modern Technological Processes

Агаджанян А. А. / Aghajanyan, A. A.
Институт радиофизики и электроники НАН РА / RUS Институт радиофизики и электроники НАН РА
Ахумян А. А. / Hakhoumian, A. A.
Институт радиофизики и электроники НАН РА / RUS Институт радиофизики и электроники НАН РА
Закарян Т. В. / Zakaryan, T. V.
Институт радиофизики и электроники НАН РА / RUS Институт радиофизики и электроники НАН РА
Меликян А. К. / Melikyan, H. K.
Semes Co. Ltd / Semes Co. Ltd
Погосян Н. Г. / Poghosyan, N. G.
Институт радиофизики и электроники НАН РА / RUS Институт радиофизики и электроники НАН РА
Саргсян С. Т. / Sargsyan, S. T.
Ереванский государственный университет / Yerevan State University
Выпуск в базе РИНЦ
DOI: 10.25210/jfop-1601-078087

Агаджанян А. А., Ахумян А. А., Закарян Т. В., Меликян А. К., Погосян Н. Г., Саргсян С. Т. Методы мониторинга и управления радиочастотной плазмы в современных технологических процессах // Физические основы приборостроения. 2016. Т. 5. № 1(18). С. 78–87.
Aghajanyan, A. A., Hakhoumian, A. A., Zakaryan, T. V., Melikyan, H. K., Poghosyan, N. G., Sargsyan, S. T. Methods of Monitoring and Control of RF Plasma in Modern Technological Processes // Physical Bases of Instrumentation. 2016. Vol. 5. No. 1(18). P. 78–87.

Аннотация: Целью настоящей работы является исследование современных проблем контроля радиочастотной плазмы, усовершенствование используемых методов, а также разработка новых методов, которые позволяют увеличить эффективность и надежность таких систем.

Abstract: The aim of this paper is analysis of modern problems concerning monitoring and control of RF plasma, improvement of the methods in use as well as development of new methods which lead to the increase of efficiency and reliability of such systems.

Ключевые слова: РЧ плазма, измерение разности фаз, согласование импедансов, индукция переменного магнитного поля, plasma processing of materials, RF plasma, phase shift measurement, impedance matching, РЧ плазма

Литература / References
  1. Hopkins, M., King, L. Evaluation of a Plasma Impedance Probe in Time-Varying Non-Uniform Plasma. Proc. 49th AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference. 2013, DOI: 10.2514/6.2013-4129.
  2. Krumpholc, M., Sedlacek, M. Measurement of Phase Difference Using DSP Algorithms by Non-Coherent Sampling // Proc. 14th International Symposium on New Technologies in Measurement and Instrumentation and 10th Workshop on ADC Modelling and Testing, Gdynia/Jurata (Poland). September 12-15. 2005. Volume I. P. 229-234.
  3. Kakiuchi Hiroaki. Atmospheric-Pressure Low-Temperature Plasma Processes for Thin Film Deposition //Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 2013. Vol. 32. No3. P. 030801-030801-16.
  4. Black, D.C., Mayo, R.M. High Sensitivity, Inductively Coupled Miniature Magnetic Probe Array for Detailed Measurement of Time Varying Magnetic Field Profiles in Plasma Flows // Review of Scientific Instruments. 1996. Vol. 67. Nо.4. P. 1508-1516.
  5. Kanamaru Yuki. Magnetic Probe Array with High Sensitivity for Fluctuating Field // Review of Scientific Instruments. 2007. Vol. 78. No3. P. 036105.
  6. Ge Lei, Zhang Yuantao. A Simple Model for the Calculation of Plasma Impedance in Atmospheric Radio Frequency Discharges // Plasma Science and Technology. 2013. Vol. 16. No. 10. P. 1009.
  7. Bacelli, G., Ringwood, J.V., and Iordanov, P. Impedance Matching Controller for an Inductively Coupled Plasma Chamber: L-Type Matching Network Automatic Controller // Proc. 4th Int. Conf. On Information in Control. 2007. P. 202.
  8. Sudhir, D., Bandyopadhyay M. et al. Physics-Electrical Hybrid Model for Real Time Impedance Matching and Remote Plasma Characterization in RF Plasma Sources // Review of Scientific Instruments. 2014. Vol. 85. P. 013510.
  9. Aghajanyan, A., Hakhoumian, A., Zakaryan, T., Melikyan, A., and Poghosyan, N. Bulletin of NAS RA: Technical Ser. 2014. Vol. 67. P. 395.
  10. Aghajanyan, A., Hakhoumian, A., Poghosyan, N., Poghosyan, T., and Zakaryan, T. On the Method of Monitoring and Optimal Control of RF-Plasma // Armenian Journal of Physics. 2015. Vol. 8. No. 1. P. 44-50.

Магнитно-нелинейные материалы для детектирования электромагнитного излучения / Magneto-Nonlinear Materials for Detection of Electromagnetic Radiation

Мартиросян Р. М. / Martirosian, R.
Ереванский государственный университет / Yerevan State University
Макарян А. О. / Makaryan, A.
Ереванский государственный университет / Yerevan State University
Мыхитарян В. М. / Mekhitarian, V.
Институт физических исследований НАН Армении / RUS Институт физических исследований НАН Армении
Татевосян В. Р. / Tadevosyan, V.
Ереванский государственный университет / Yerevan State University
Назари Ф. / Nazari, F.
Ереванский государственный университет / Yerevan State University
Джулфаян А. / Julfayan, A.
Институт радиофизики и электроники НАН Армении / RUS Институт радиофизики и электроники НАН Армении
Выпуск в базе РИНЦ
DOI: 10.25210/jfop-1601-088097

Мартиросян Р. М., Макарян А. О., Мыхитарян В. М., Татевосян В. Р., Назари Ф., Джулфаян А. Магнитно-нелинейные материалы для детектирования электромагнитного излучения // Физические основы приборостроения. 2016. Т. 5. № 1(18). С. 88–97.
Martirosian, R., Makaryan, A., Mekhitarian, V., Tadevosyan, V., Nazari, F., Julfayan, A. Magneto-Nonlinear Materials for Detection of Electromagnetic Radiation // Physical Bases of Instrumentation. 2016. Vol. 5. No. 1(18). P. 88–97.

Аннотация: В работе приведены результаты исследований по детектированию лазерного излучения ИК диапазона в прозрачном ферромагнетике железо-иттриевом гранате (ЖИГ) при комнатной температуре. Показано, что величина и знак регистрируемого сигнала существенно зависят от внешнего постоянного магнитного поля и формы кривой намагничивания ферромагнетика. Зависимость регистрируемого сигнала от приложенного магнитного поля хорошо коррелируется со статической кривой намагничивания ферромагнитного образца. Регистрируемый сигнал отличается от нуля только при тех значениях внешнего магнитного поля, при которых кривая намагничивания ферромагнитного образца нелинейна. Эффективность детектирования существенно зависит также от угла поляризации лазерного излучения относительно вектора намагниченности ферромагнитного образца. Наиболее эффективная нелинейность имеет место в том случае, когда магнитное поле линейно поляризованного лазерного излучения лежит в плоскости, параллельной магнитному моменту намагниченного ферромагнетика.

Abstract: The results of research of detecting infrared laser radiation in transparent ferromagnetic YIG at room temperature in this work are presented. It is shown that the magnitude and sign of the detected signal depends essentially on the external magnetic field and the shape of magnetization curve of the ferromagnetic. The dependence of detected signal on applied magnetic field is in good agreement with static magnetization curve of the ferromagnetic sample. The detected signal is different from zero only for those values of the external magnetic field at which the magnetization curve of ferromagnetic sample is non-linear. The detection efficiency greatly depends on the angle of polarization of the laser radiation with respect to the magnetization vector of the ferromagnetic sample. The most effective nonlinearity is evident in the case where the magnetic field of a linearly polarized laser radiation lies in a plane parallel to the magnetic moment of the magnetization of ferromagnetic.

Ключевые слова: детектирование, магнитная нелинейность, лазерное излучение, ферромагнитный материал, magnetization, detection, magnetic nonlinearity, laser radiation, детектирование

Литература / References
  1. Ферриты в нелинейных СВЧ устройствах. / Сб.-к статей под. ред. А.Г. Гуревича. М.: ИИЛ, 1961.
  2. Нелинейные свойства ферритов в полях СВЧ. / Сб.-к статей под. ред. А.Л. Микаэляна. М.: ИИЛ, 1963.
  3. Porter, C.S., Spencer, E.G., Le Craw, R.C. Transparent Ferromagnetic Light Modulator Using Yttrium Iron Garnet // J. Appl. Phys. 1958. Vol. 29. P. 495-496.
  4. Кринчик Г. С., Четкин М. В. Прозрачные ферромагнетики // УФН. 1969. Т. 98. Вып. 1. С. 3-25.
  5. Кабыченков А. Ф. Магнитные фазовые переходы в поле световой волны // Журнал экспериментальной и теоретической физики. 1991. Т. 100. Вып. 4. С. 1219-1237.
  6. Яковлев Ю. М., Генделев С. Ш. Монокристаллы ферритов в радиоэлектронике. М.: Советское радио, 1975.
  7. Тикадзуми С. Физика ферромагнетизма. Магнитные характеристики и практическое применение. М.: Мир, 1987.
  8. Kimel, A.V., Kirilyuk, A., Usachev, P.A., Pisarev, R.V., Balbashov, A.M., and Rasing, Th. Ultrafast Non-Thermal Control of Magnetization by Instantaneous Photomagnetic Pulses // Nature. 2005. Vol. 435. P. 655-657.
  9. Challener, W. A., McDaniel, T. W., Mihalcea, C. D., Mountfield, K. R., Pelhos, K., and Sendur, I. K. Light Delivery Techniques for Heat-Assisted Magnetic Recordings // Jpn. J. Appl. Phys. 2003. Part 1. T.42. P. 981-988.
  10. Koopmans, B., Van Kampen, M., Kohlhepp, J.T., and de Jonge, W.J.M. Ultrafast Magneto-Optics in Nickel: Magnetism or Optics? // Phys. Rev. Lett. 2000. Vol. 85. P. 844.
  11. Kirilyuk, A. From Magneto-Optics to Ultrafast Manipulation of Magnetism // Journal of Science and Arts. 2011.T. 3. P. 353-356.
  12. Kimel, A.V., Kirilyuk, A., Hansteen, F., Pisarev, R. V., and Rasing, Th. Nonthermal Optical Control of Magnetism and Ultrafast Laser-Induced Spin Dynamics in Solids // J. Phys.: Condens. Matter. 2007. Vol. 19. P. 043201 (1-24).
  13. Kimel, A. V., Bentivegna, F., Gridnev, V. N., Pavlov, V. V., Pisarev, R. V., and Rasing, Th. Room-Temperature Ultrafast Carrier and Spin Dynamics in Gaas Probed by the Photoinduced Magneto-Optical Kerr Effect // Phys. Rev. B. 2001. Vol. 63. P. 235201.
  14. Hansteen, F., Kimel, A., Kirilyuk, A., and Rasing, Th. Nonthermal Ultrafast Optical Control of the Magnetization in Garnet Films // Phys. Rev. B. 2006. Vol. 73. P. 014421.
  15. Wang, J., Sun, C., Hashimoto, Y., Kono, J., Khodaparast, G. A., Cywinski, L., Sham, L. J., Sanders, G. D., Stanton, C. J., and Munekata, H. Ultrafast Magneto-Optics in Ferromagnetic III-V Semiconductors // Journal of Physics: Condensed Matter. 2006. Vol. 18, P. R501-530.
  16. Макарян А. О. Оптическое детектирование в ферромагнитной среде // Молодой научный сотрудник ЕГУ. 1982. Т. 2. С. 134-136.
  17. Hakobyan, H.S., Makaryan, A.H., Mekhitarian, V.M., and Tadevosyan, V.R. Detection of Laser Radiation in Optically Transparent Ferromagnet // Proc. Of International Conference on ‘’Microwave and THz Technologies and Wireless Communications’’. Armenia. 2013. P. 52-60.
  18. Martirosian, R.M., Makaryan, A.H., Mekhitarian, V.M., and Tadevosyan, V.R. Optical Detection in a Ferromagnet // JETP Letters. 2014. Vol. 99. No. 8. P. 435-440.
  19. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Статистическая физика часть 2. М.: Физматлит, 2004.
  20. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Теория поля. М.: Ф, 2003.
  21. Landau, L. D., Lifshitz, E. M. Theory of theизматлит, 2003.
  22. Landau, L. D., Lifshitz, E. M. Theory of the Dispersion of Magnetic Permeability in Ferromagnetic Bodies// Phys. Z. Sowjetunion. 1935. Vol. 8. No. 153. P. 101-114.
  23. Bloch, F. Nuclear Induction// Phys. Rev. 1946. Vol. 70. P. 460-474.
  24. Gilbert, T. L. A Lagrangian Formulation of the Gyromagnetic Equation of the Magnetic Field // Phys. Rev. 1955. T.100, P. 1243.
  25. Callen, H. B. A Ferromagnetic Dynamical Equation // J. Phys. Chem. Solids. 1958. Vol. 4. P. 256-270.
  26. Bloembergen, N. On the Ferromagnetic Resonance in Nickel and Supermalloy // Phys. Rev. 1950. Vol. 78, P. 572.
  27. Мыхитарян В. М. Инвариантное представление обобщенного импульса // Известия НАН Армении. Физика. 2012. Т. 47. № 6. С. 379-390.

Ближнеполевой сканирующий СВЧ микроскоп в качестве измерительной техники с наноразрешением / Near-Field Scanning Microwave Microscope as Nano-Resolution Characterization Technique

Бабаджанян А. Ж. / Babajanyan, A. J.
Ереванский государственный университет / Yerevan State University
Фридман Б. / Friedman, B.
Государственный Университет Сэм Хьюстона / Sam Houston State University
Ли К. / Lee, K.
Университет Соганг Кореи / Sogang University
Выпуск в базе РИНЦ
DOI: 10.25210/jfop-1601-098111

Бабаджанян А. Ж., Фридман Б., Ли К. Ближнеполевой сканирующий СВЧ микроскоп в качестве измерительной техники с наноразрешением // Физические основы приборостроения. 2016. Т. 5. № 1(18). С. 98–111.
Babajanyan, A. J., Friedman, B., Lee, K. Near-Field Scanning Microwave Microscope as Nano-Resolution Characterization Technique // Physical Bases of Instrumentation. 2016. Vol. 5. No. 1(18). P. 98–111.

Аннотация: Ближнепольная сканирующая микроволновая микроскопия (БСММ) — инструмент бесконтактного неинвазивного неразрушающего контроля для оценки электромагнитных свойств материала с высоким контрастом и высоким пространственным разрешением. Этот подход основан на неразрушающем зондировании локального электромагнитного поля между рабочим концом зонда и тестируемым материалом. Он может использоваться для исследования таких характеристик материала, как электропроводность, диэлектрическая и магнитная проницаемости, и свойств материала, как в объеме, так и в тонких слоях. Изменения характеристик различных материалов и их волнового сопротивления были исследованы данным методом путем измерения коэффициента отражения S 11 микроволнового излучения и сдвига резонансной частоты Δ f / fr . Эти параметры могут быть легко измерены с использованием стандартного сетевого анализатора. В последнее время технология БСММ привлекает большое внимание в качестве перспективного альтернативного метода для тестирования твердотельных материалов, химических растворов и биологических объектов. Более того, эта ближнепольная технология дает возможность детектирования без использования маркирущих молекул, люминесцентных или радиоактивных. В дополнение к этим важнейшим методам распознавания на молекулярном уровне, технология БСММ является уникальным средством для исследования физических свойств в наномасштабе. Она реагирует на чрезвычайно малые вариации свойств материала и открывает большие возможности для высокочувствительного определения микропрофиля поверхности.

Abstract: The near-field scanning microwave microscope (NSMM) is a noncontact, nondestructive and label-free evaluation tool to obtain material properties with high contrast and high spatial resolution. This NSMM approach is based on nondestructive probing of a local electromagnetic near-field interaction between the probe tip and the materials under test, and can be used in exploring material characteristics such as electrical conductivity, dielectric permittivity, magnetic permeability, volumetric and thin film properties, etc. The changes in intrinsic impedance and material characteristics of various materials were investigated by NSMM by measuring the microwave reflection coefficient S 11 and resonant frequency shift Δ f / fr . These parameters can be easily measured using a commercial network analyzer. The NSMM detection technique has attracted considerable attention recently as a promising alternative sensor platform for use in solid state, chemical solution, and biological detection methods. Moreover, the near-field technique offers a label-free detection method that overcomes the need for targeting the molecules with fluorescent or radioactive labels. In addition to these important applications in molecular recognition, the NSMM technique is a unique experimental tool for investigating the physical properties at the nano-scale. The nano-scale probing technique using a NSMM means that it interacts in response to extremely small material property changes and has a great potential for investigating the surface profiles with high sensitivity.

Ключевые слова: Ближное поле, Нано-шкала, 3D отображение, биосенсоры, Microwaves, Near-field, Nano-scale, 3D mapping, Ближное поле, Нано-шкала

Литература / References
  1. Abu-Teir, M., Golosovsky, M., Davidov, D., Frenkel, A., and Goldberger, H. Near-Field Scanning Microwave Probe Based on a Dielectric Resonator // Rev. Sci. Instrum. 2001. Vol. 72. P. 2073.
  2. Kim, J., Kim, S., Lee, K., Lee, J., Cha, D., and Friedman, B. Development of a Near-Field Scanning Microwave Microscope Using a Tunable Resonance Cavity for High Resolution // Meas. Sci. Technol. 2003. Vol. 14. P. 7.
  3. Gao, C., Xiang, X.-D. Quantitative Microwave Near-Field Microscopy of Dielectric Properties // Rev. Sci. Instrum. 1998. Vol. 69. P. 846.
  4. Fragola, A., Aigouy, L., Mignotte, P., Formanek, F., and De Wilde, Y. Apertureless Scanning Near-Field Fluorescence Microscopy in Liquids. // Ultra-microscopy. 2004. Vol. 101. P. 47-54.
  5. Imtiaz, A., Baldwin, T., Nembach, H., Wallis, T., Kabos, P. Near-Field Microwave Microscope Measurements to Characterize Bulk Material Properties // Appl. Phys. Lett. 2007. Vol. 90. P. 243105.
  6. Rodriguez, M., Mandelis, A., Pan, G., Garcia, J., Gorodokin, V., Raskin, Y. Minority Carrier Lifetime and Iron Concentration Measurements on p-Si Wafers by Infrared Photothermal Radiometry and Microwave Photoconductance Decay // J. Appl. Phys. 2000. Vol. 87. P. 8113.
  7. Kunst, M., Wunsch, F., and Jokisch, D. Lateral Scanning of Si Based Systems by Measurements of the Microwave Photoconductance // Mat. Sci. Engin. B. 2003. Vol. 102. P. 173-178.
  8. Mircea, D., Clinton, T. Near-Field Microwave Probe for Local Ferromagnetic Resonance Characterization // Appl. Phys. Lett. 2007. Vol. 90. P. 142504.
  9. Kalinin, S., Gruverman, A. Scanning Probe Microscopy: Electrical and Electromechanical Phenomena at the Nanoscale. New York: Springer-Verlag, 2006.
  10. Steinhauer, D., Vlahacos, C., Wellstood, F., Anlage Steven, M., Canedy, C., Ramesh, R., Stanishevsky, A., and Melngailis, J. Quantitative Imaging of Dielectric Permittivity and Tunability with a Near-Field Scanning Microwave Microscope // Rev. Sci. Instrum. 2000. Vol. 71. P. 2751.
  11. Friedman, B., Gaspar, M., Kalachikov, S., Lee, K., Levicky, R., Shen, G., and Yoo, H. Sensitive, Label-Free DNa Diagnostics Based on Near-Field Microwave Imaging // J. Am. Chem. Soc. 2005. Vol. 127. P. 9666-9667.
  12. Talanov, V., Scherz, A., Moreland, R., and Schwartz, A. A Near-Field Scanned Microwave Probe for Spatially Localized Electrical Metrology // Appl. Phys. Lett. 2006. Vol. 88. P. 134106.
  13. Imtiaz, A., Anlage, S., Barry, J., and Melngailis, J. Nanometer-Scale Material Contrast Imaging with a Near-Field Microwave Microscope // App. Phys. Lett. 2007. Vol. 90. P. 143106.
  14. Ohatsu, M. Near-Field Nano/Ato Optics and Technology. Tokyo: Springer-Verlag, 1998.
  15. Jackson, J. Classical Electrodynamics. New York: Wiley, 1975.
  16. Griffiths, D. Introduction to Electrodynamics, 3th ed. New York: Prentice, 1999.
  17. Pozar, D. M. Microwave Engineering. New York: Addison-Wesley, 1990.
  18. Kim, J., Babajanyan, A., Hovsepyan, A., Lee, K., and Friedman, B. Microwave Dielectric Resonator Biosensor for Aqueous Glucose Solution // Rev. Sci. Instrum. 2008. Vol. 79. P. 086107.
  19. Gao, C., Hu, B., Takeuchi, I., Chang, K., Xiang, X., and Wang, G. Quantitative Scanning Evanescent Microwave Microscopy and its Applications in Characterization of Functional Materials Libraries // Meas. Sci. Technol. 2005. Vol. 16. P. 248.
  20. Kim, S., You, H., Lee, K., Friedman, B., Gaspar, M., and Levicky, R. Distance Control for a Near-Field Scanning Microwave Microscope in Liquid Using a Quartz Tuning Fork // Appl. Phys. Lett. 2005. Vol. 86. P. 153506.
  21. Melikyan, H., Sargsyan, T., Babajanyan, A., Kim, S., Kim, J., Lee, K., and Friedman, B. Hard Disk Magnetic Domain Nano-Spatial Resolution Imaging by Using a Near-Field Scanning Microwave Microscope with an AFM Probe Tip // J. Magn. Magn. Mater. 2009. Vol. 321. P. 2483-2487.
  22. Babajanyan, A., Kim, J., Kim, S., Lee, K., and Friedman, B. Sodium Chloride Sensing by Using a Near-Field Microwave Microprobe // Appl. Phys. Lett. 2006. Vol. 89. P. 183504.
  23. Dimtrakopoulos, C. D., Malenfant, P. R. L. Organic Thin Film Transistors for Large Area Electronics // Adv. Mater. 2002. Vol. 14. P. 99-117.
  24. Lim, E., Manaka, T., Tamura, R., and Iwamoto, M. Maxwell-Wagner Model Analysis for the Capacitance-Voltage Characteristics of Pentacene Field Effect Transistor // Jpn. J. Appl. Phys. 2006. Vol. 45. P. 3712-3716.
  25. Kudo, K., Sumimoto, T., Hiraga, K., Kuniyoshi, Sh., and Tanaka, K. Evaluation of Electrical Properties of Evaporated Thin Films of Metal-Free, Copper and Lead Phthalocyanines by in-Situ Field Effect Measurements // Jpn. Appl. Phys. 1997. Vol. 36. P. 6994-6998.
  26. Suzue, Y., Manaka, T., and Iwamoto, M. Current-Voltage Characteristics of Pentacene Films: Effect of UV/Ozone Treatment on Au Electrodes // Jpn. J. Appl. Phys. 2005. Vol. 44. P. 561-565.
  27. Kirchartz, T., Rau, U., Kurth, M., Mattheis, J., and Werner, J. Comparative Study of Electroluminescence From Cu (In, Ga) Se2 and Si Solar Cells // Thin Solid Films. 2007. Vol. 515. P. 6238-6242.
  28. Anton, I., Sala, G., Heasman, K., Kern, R., and Bruton, T. Performance Prediction of Concentrator Solar Cells and Modules From Dark I-V Characteristics // Prog. Photovolt. Res. Appl. 2003. Vol. 11. P. 165-178.
  29. Noh, Y. Y., Kim, D. Y., and Yase, K. Highly Sensitive Thin-Film Organic Phototransistors: Effect of Wavelength of Light Source on Device Performance // J. Appl. Phys. 2005. Vol. 98. P. 074505.
  30. Hamilton, M., Martin, S., and Kanicki, J. Thin-Film Organic Polymer Phototransistors // IEEE Trans. Electron Devices. 2004. Vol. 51. P. 877-885.
  31. Zhen, L., Shang, L., Liu, M., Tu, D., Ji, Z., Liu, X., Liu, G., Liu, J., and Wang, H. Light-Induced Hysteresis Characteristics of Copper Phthalocyanine Organic Thin-Film Transistors // Appl. Phys. Lett. 2008. Vol. 93. P. 203302.
  32. Chicinas, I. Soft Magnetic Nanocrystalline Powders Produced by Mechanical Alloying Routes // J. Optoelectron. Adv. Mater. 2006. Vol. 8. P. 439-448.
  33. Tabib-Azar, M., Wang, Y. Design and Fabrication of Scanning Near-Field Microwave Probes Compatible with Atomic Force Microscopy to Image Embedded Nanostructures // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 2004. Vol. 52. P. 971-979.
  34. Hanai, T., Hamada, H., and Okamoto, M. Application of Bioinformatics for DNa Microarray Data to Bioscience, Bioengineering and Medical Fields // J. Biosci. Bioeng. 2006. Vol. 101. P. 377-384.
  35. Wang, L., Li, P. Microfluidic DNa Microarray Analysis: a Review // Anal. Chim. Acta. 2011. Vol. 687. P. 12-27.
  36. Ray, K., Ma, J., Oram, M., Lakowicz, J., and Black, L. Single-Molecule and FRET Fluorescence Correlation Spectroscopy Analyses of Phage DNa Packaging: Colocalization of Packaged Phage T4 DNa Ends Within the Capsid // J. Mol. Biol. 2010. Vol. 395. P. 1102-1113.
  37. Qi, Y., Li, B., Zhang, Zh. Label-Free and Homogeneous DNa Hybridization Detection Using Gold Nanoparticles-Based Chemiluiminescence System // Biosens. Bioelectron. 2009. Vol. 24. P. 3581-3586.
  38. Postma, H. Rapid Sequencing of Individual DNa Molecules in Graphene Nanogaps. // Nano Lett. 2010. Vol. 10. P. 420-425.
  39. Ozkumur, E., Ahn, S., Yalcin, A., Lopez, C., Cevik, E., Irani, R., DeLisi Ch., Chiari, M., and Unlu, M. Label-Free Microarray Imaging for Direct Detection of DNa Hybridization and Single-Nucleotide Mismatches. // Biosens. Bioelectron. 2010. Vol. 25. P. 1789-1795.
  40. Kim, S., Jang, Y., Kim, S., Kim, T., Melikyan, H., Babajanyan, A., Lee, K., and Friedman, B. Detection of DNA-Hybridization Using a Near-Field Scanning Microwave Microscope // J. Nanosci. Nanotechnol. 2011. Vol. 11. P. 4222-4226.
  41. Mayor, L., Moreira, R., Chenlo, F., and Sereno, A. Kinetics of Osmotic Dehydration of Pumpkin with Sodium Chloride Solutions // J. Food Eng. 2006. Vol. 74. P. 253-262.
  42. Rahmouni, K., Keddam, M., Srhiri, A., and Takenouti, H. Corrosion of Copper in 3% NaCl Solution Polluted by Sulphide Ions // Corros. Sci. 2005. Vol. 47. P. 3249-3266.
  43. Babajanyan, A., Melikyan, H., Kim, S., Kim, J., Lee, K., Friedman, B. Real-Time Noninvasive Measurement of Glucose Concentration Using a Microwave Biosensor. // J. Sens. 2010. Vol. 2010. Article ID: 452163.