Татаренко Н.И. / Tatarenko, N.I
ОАО «Научноисследовательский институт точных приборов» / RUS ОАО «Научноисследовательский институт точных приборов»
Егоров К.В. / Egorov, K.V.
ОАО «Научноисследовательский институт точных приборов» / RUS ОАО «Научноисследовательский институт точных приборов»
Ходжаев В.Д. / Khodjaev, V.D.
ОАО «Научноисследовательский институт точных приборов» / RUS ОАО «Научноисследовательский институт точных приборов»
Косинова Е.Н. / Kosinova, E.N.
ОАО «Научноисследовательский институт точных приборов» / RUS ОАО «Научноисследовательский институт точных приборов»
Савушкина С.В. / Savushkina, S.V.
ГНЦ ФГУП «Центр Келдыша» / RUS ГНЦ ФГУП «Центр Келдыша»
Выпуск в базе РИНЦ
Татаренко Н.И., Егоров К.В., Ходжаев В.Д., Косинова Е.Н., Савушкина С.В. Упорядоченные матрицы оксидно-ниобиевых нановыступов—технология формирования, структура, геометрические параметры и элементный состав // Физические основы приборостроения. 2012. Т. 1. № 2(3). С. 15–29. DOI: 10.25210/jfop-1202-015029
Tatarenko, N.I, Egorov, K.V., Khodjaev, V.D., Kosinova, E.N., Savushkina, S.V. Ordered Arrays of Niobium Oxide Nanopillars — the Formation Technique, Structure, Geometrical Parameters and Elemental Composition // Physical Bases of Instrumentation. 2012. Vol. 1. No. 2(3). P. 15–29. DOI: 10.25210/jfop-1202-015029

Аннотация: Приведены результаты исследования современными методами электронной микроскопии и диагностики геометрических параметров и элементного состава создаваемых матриц оксидно-ниобиевых нановыступов в процессе многостадийного анодирования двухслойной тонкопленочной системы Nb-Al. Показано, что разработанная технология позволяет формировать на слое ниобия оксидно- ниобиевые матрицы нановысгупов столбиковой структуры со следующими характерными параметрами: высота ~ (112.0 ÷ 114.0) нм; средний диаметр ~ (48.0 ÷ 55.0) нм; плотность упаковки $\lambda$ = 2.7·1010 нв/см2. проведенный рентгеновский микроанализ структуры оксидно-ниобиевых матриц нановыступов показал, что для них характерно следующее количественное содержание элементов: — по весу (Nb — 89 %; O — 8 %; C — 3 %), — по атомному составу (Nb — 51 %; O — 27 %; C — 22 %). Полученные данные демонстрируют возможность и целесообразность использования создаваемых матриц оксидно-ниобиевых нановыступов в качестве наноэмиттеров в автоэмиссионных приборах.
Abstract: The investigation results, obtained with the modern technique of electronic microscopy and diagnostics of geometrical parameters and elemental composition of the formed arrays of niobium oxide nanopillars in the process of the multistage anodizing of the two-layer thin film Nb–Al system, are given. It is illustrated that the developed technique allows to form niobium oxide arrays of nanopillars on a niobium layer with the following characteristic parameters: ~ (112.0 ÷114.0) nm height; ~ (48.0 ÷ 55.0) nm average diameter; $\lambda$ =2.17·1010 npil/cm² packaging density. The performed X-ray microanalysis of the structure of niobium oxide arrays of nanopillars showed that the characteristic of them is the following quantity content of elements: by weight- Nb — 89%; O — 8%; C — 3%; by atomic composition — Nb-51%; O — 27%;C — 22%. The data obtained demonstrate the possible and reasonable use of the formed arrays of niobium oxide nanopillars as nanoemitters in the field emission devices.
Ключевые слова: матрица оксидно-ниобиевых, porous anodic alumina, array of niobium oxide nanopillars, elemental composition, матрица оксидно-ниобиевых